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產(chǎn)品型號(hào): MS-500
所屬分類:氧氣
產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-06
簡要描述:日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500多可同時(shí)測量8個(gè)點(diǎn)濃度顯示范圍很廣,從ppm到100%。非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進(jìn)一步提高耐用性
日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500
日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500
測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 | ||
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形狀 | 分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式) | ||
顯示方式 | 4位數(shù)字顯示(密度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm 自動(dòng)量程 | ||
重復(fù)性 | 在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更高 ±1%FS或± 0.1ppm中,以較大者為準(zhǔn)小于0-1%范圍0-1ppm,atm范圍超出保證的濃度范圍 | ||
測量點(diǎn)數(shù) | 1?8 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 10 -3至200 KPa(壓力) | |
流量 | 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min(自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測量) | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-100°攝氏度 | ||
其他 | 請勿包含腐蝕性氣體(氟氣,氯氣,硫化物氣等),含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。 | ||
比較氣 | 大氣層 | ||
記錄儀輸出 | 僅變速箱輸出 | ||
變速箱輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | 沒有 | ||
熱身時(shí)間 | 6分鐘以內(nèi) | ||
尺寸 | MS-500(控制器) | 92(W)×44(H)×120(D)(不包括突起) | |
MS-510(轉(zhuǎn)換器) | 100(W)×40(H)×88(D)(不包括突起) | ||
傳感器單元 | SD16NW | 總長100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51) | |
SD25NW | 總長100 mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48) | ||
SD40NW | 總長100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49) | ||
大眾 | MS-500(控制器) | 約0.6Kg | |
MS-510(轉(zhuǎn)換器) | 約0.5kg | ||
傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
SD25NW | 約0.2Kg | ||
SD40NW | 約0.35Kg | ||
外部連接 | 真空法蘭之一(NW16、25、40) | ||
使用電源 | 24VDC±10% |